概述
真空/可控气氛共晶炉可用于微电子封装、混合微电子电路组装、低空洞共晶管芯贴片、陶瓷封装封焊、金属管壳真空封焊等领域。目的是为微波器件封装、LED芯片焊接、MEMS 器件封装、LD器件焊接、电力电子器件封装、IGBT芯片焊接等提供设备支持。而且它为很多行业如:航空、航天及军事工程等高可靠要求的混合集成电路、微波、光集成电路以及MEMS器件的试验研究提供了一个良好的环境。
真空/可控气氛共晶炉具有抽真空、充惰性气体、加热等功能;并且有水冷却保护系统。GJL-2023型真空/可控气氛共晶炉是在温控仪上设定工艺曲线,PLC控制设备运行。设备自动完成预设定的工艺过程,方便易用。PLC自动控制程序可根据用户要求制定。
2.技术指标
l 设计******温度: 500℃
l ******的工作温度: 450℃
l 定值控温精度: ±1℃
l 极限真空: 5Pa
l 推荐工作真空: 15Pa
l 炉体******气压(相对压力):0.2MPa(10分钟内变化量不超过5%)
l 有效加热面积: (150×150) mm2
l 在有效面积内热均匀性: ±5℃
l ******加热速率: 120℃/分
l ******冷却速率: 60℃/分
l 可放器件******高度: 60mm
l 观察窗口直径: 80mm
l 外形尺寸: (580 mm×950 mm×1350mm)(重量:150kg)
l 电气: 380V三相,≤7KW
l 工艺气体: 2路
3.功能说明
标配功能:
u 采用PLC控制/采用工业控制计算机控制;
u 操作系统可在手动、自动模式之间切换操作;
u 工艺曲线实时监控功能;
u 工艺曲线记录存储功能;
u 水冷保护功能(炉盖及观察窗密封圈、降温板);
u 控制软件具有防差错互锁,超温、超压报警功能;
u 可对抽真空、加热、充惰性气体、排气等功能进行设置及控制。